真空度測(cè)試儀的測(cè)試原理
更新時(shí)間：2013-02-01 點(diǎn)擊次數(shù)：1898次
真空度測(cè)試儀采用磁控放電法進(jìn)行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的距離，施加電場(chǎng)脈沖高壓，將滅弧室置于螺線(xiàn)管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€(xiàn)圈置于滅弧室外側(cè)，向線(xiàn)圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。
這樣，在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下，滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管型號(hào)（管型），由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線(xiàn)。當(dāng)測(cè)知離子電流后，就可以通過(guò)查詢(xún)?cè)摴苄偷碾x子電流一真空度曲線(xiàn)獲得該管型的真空度。
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